@InProceedings{GonçalvesBaldFerr:2015:EsCoBo,
               author = "Gon{\c{c}}alves, Rosana Alves and Baldan, Maur{\'{\i}}cio 
                         Ribeiro and Ferreira, Neiden{\^e}i Gomes",
          affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto 
                         Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto Nacional de 
                         Pesquisas Espaciais (INPE)}",
                title = "Estudo da concentra{\c{c}}{\~a}o de boro em filmes de diamante 
                         dopado com boro por XPS",
            booktitle = "Proceedings...",
                 year = "2015",
               editor = "WETE, Comiss{\~a}o Organizadora do",
         organization = "Workshop em Engenharia e Tecnologia Espaciais, 6. (WETE)",
            publisher = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)",
              address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos",
             keywords = "Filmes de diamante, Boro, Concentra{\c{c}}{\~a}o de CH4, XPS.",
             abstract = "Filmes de diamante dopado com boro com diferentes 
                         concentra{\c{c}}{\~o}es de metano (CH4) foram crescidos em 
                         reator de filamento quente empregando-se o m{\'e}todo Chemical 
                         Vapour Deposition (CVD) e, caracterizados morfol{\'o}gica e 
                         estruturalmente por meio de Microscopia Eletr{\^o}nica de 
                         Varredura (MEV) e Espectroscopia de Espalhamento Raman. 
                         An{\'a}lises mais detalhadas foram realizadas por meio de 
                         espectroscopia de emiss{\~a}o de Raios X (XPS) com a finalidade 
                         de investigar a incorpora{\c{c}}{\~a}o de boro nos filmes de 
                         diamante. Os resultados mostram uma depend{\^e}ncia da 
                         concentra{\c{c}}{\~a}o de boro com a concentra{\c{c}}{\~a}o de 
                         CH4 presente nas amostras, com a varia{\c{c}}{\~a}o azimutal e 
                         inclina{\c{c}}{\~a}o da amostra nas medidas de XPS.",
  conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
      conference-year = "18-19 ago",
                 issn = "2177-3114",
                label = "self-archiving-INPE-MCTI-GOV-BR",
             language = "pt",
                  ibi = "8JMKD3MGP3W34P/3L3FQ7E",
                  url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3L3FQ7E",
           targetfile = "18_rosana.pdf",
        urlaccessdate = "17 maio 2024"
}